分子泵故障处理常见问题答疑

浏览:7 发表时间:2020-01-16 09:35:06

1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?

原因:附近有光照或其他热源。

解决方法:避免光照或热源。

2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?

原因:冷却不良,负载太大。

解决方法:检查冷却系统,检查真空系统。

3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?

原因:负载太大,系统真空度不够。

解决方法:检查系统。

4、分子泵轴承为什么会烧毁?

原因:

①缺乏定期维护

②冷却不良导致过热

③没有及时换油

④抽除的气体中含有大量粉尘

解决方法:

①及时维护

②检查冷却系统

③及时换油

④隔离粉尘

5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?

原因:防护网破裂,前级管道破裂。

解决方法:优化系统设计。

6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?

原因:油池破裂或密封不良。

解决方法:检查油池。

7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形?

原因:过热,负载大。

解决措施:检查冷却系,检查系统。

8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?

原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。

9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?

答:不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等。

10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?

答:①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密

11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?

答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要专用仪器和特定的测试环境。

12、分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?

答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。

13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是***方式?

答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。

14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Po“。

答:原因电压低。


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